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工商時報【涂志豪╱台北報導】
半導體先進製程大戰開打，包括英特爾、台積電、三星等大廠將在2018年開始跨入極紫外光（EUV）微影世代，誰能在EUV技術上取得領先地位，將成為7奈米及5奈米的市場新霸主。
設備廠家登（3680）布局極紫外光光罩傳送盒（EUV POD）多年，並於農曆年前再次通過微影設備大廠艾司摩爾（ASML）EUV機台測試，結果證明家登已取得EUV市場入場門票。
艾司摩爾先前公告去年第四季財網友報優於預期，EUV機台已接單未出貨（backlog）數量已達18台，營收規模已達20億歐元。艾司摩爾指出，客戶端將在7奈米邏輯製程及1y奈米DRAM製程開始採用EUV技術，而預估2017年EUV技術目標是要達到每天曝光晶圓數達3000片的量產規模，機台可使用率超過9成，可在2018年達到客戶量產需求。
為了加快布局EUV技術及建立產能，包括英特爾、台積電、三星等三大半導體廠的先進製程大戰可說已正式展開。英特爾已宣布將投資70億美元，將在美國亞利桑那州的12吋晶圓廠Fab 42中建立支援EUV的生產線。
三星在才剛落幕的ISSCC大會中，說明將會在7奈米邏輯製程世代開始導入EUV技術，而業界透露，三星也會在2018～2019年間量產的1y奈米DRAM製程上，開始試著採用EUV技術。
至於晶圓代工龍頭台積電原本預期在5奈米世代才會導入EUV，但為了保持技術領先地位，已經說明將在7奈米量產後一年，也就是2019年，開始在部份光罩製程中採用EUV技術，5奈米世代將可大量導入EUV製程。
在三大廠全面啟動EUV微縮計畫情況下，全球半導體設備及材料廠也開始擴增產能大搶龐大商機。家登布局多年的EUV POD已在農曆年前再次通過艾司摩爾機台測試，測試結果證明家登取得關鍵技術入場門票，將為2017年營運注入成長動能。
家登表示，EUV技術是未來7奈米以下先進製程關鍵，為配合全球半導體客戶發展進程，家登同步研發相應的光罩傳載解決方案。目前通過測試最新版本的EUV POD比照艾司摩爾微粒防護的最新標準，與光罩接觸點皆為耐磨材質，能有效減少微塵粒（Particle），提供EUV光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。
家登元月受到工作天數減少影響，單月營收年減33.5％達1.23億元，但家登指出特價這只是短期現象，看好營收將在2月後回穩，全年營收仍將較去年成長。家登今年營運策略採聚焦主軸，光罩傳載解決方案聚焦EUV，晶圓傳載解決方案聚焦12吋300FOUP晶圓盒等兩大產品線，對全年營運抱持樂觀看法。
下面附上一則新聞讓大家了解時事
（中央社記者黃雅娟台北23日電）經濟部長李世光今天表示，回顧上任時喊出一年內電業法修法完成，「沒想到修法竟然這麼困難」，笑說自己太笨，但很幸運通過修法，唯有這樣才能達成2025非核家園目標。
經濟部長李世光今天出席2017永續城市論壇，以「綠色經濟在智慧城市中的實踐與發展」為題發表演講，他在演講中向國內外學者表示，台灣2025年前要達成非核家園的目標，再生能源要增加10倍的應用，提升到20%。
觀察OECD主要國家，經濟成長率（GDP）的動向跟碳排放並沒有完全正相關，但台灣從1991年起，兩者就成為緊密結合，1%GDP帶來1%碳排放，這不是發展國家該有的趨勢，不過這個情況在台灣2020年預估可以每年下降2~3％，但這是不夠的。
李世光表示，綠色經濟角色相形重要，降低對環境的威脅，而如何要締造2025年的無核家園目標，就是要修改能源法。李世光坦言，其實自己相當後悔當初說一年內要修改電業法，「沒想到修法竟然這麼難」。雖然想起來自己好像太笨，但是很幸運能夠通過，只有這樣才能打造再生能源發電的系統，建立環境友善的節能系統。
修改電業法為何如此急切？李世光指出，台灣花了很多時間才能將再生能源發電提升到2%，如果現在不進行修法，每延後一年，非核家園的目標就會更加困難。丹麥就連續訂定他們能源目標長達14年，但是每一年都達標，如果仿照這樣的精神，台灣其實是有可能做到的。
談到循環經濟，李世光指出，以台灣水泥產業為例，水泥開採場也要有相對應的環保措施，如果真的用新科技實行環保，可以幫助其他產業吸收碳排放；其他像鋼鐵廠，精煉鋼時會有廢棄物，可以拿來鋪設人行道的地面，如果只是單純當作廢棄物，可能還要花費處理費。
李世光強調，如果不改變目前碳排放的曲線，就沒有辦法達成非核家園的目標，不能讓後代像恐龍一樣在地球上消聲匿跡。為了改變碳排放，雖然全球城市都面對同樣問題，但台灣政府應該和產官學、NGO合作。政府投資綠色經濟，其實有一半經費都來自企業投資，必須跟產業持續合作、協助產業更新，走入低排放時代；未來預計將有3兆基金持續投入綠能產業。
行政院政委張景森今天出席論壇時則表示，行政院去年成立專責的能源減碳辦公室，專責台灣能源轉型及溫室氣體減量等跨部會協調合作，而去年通過的綠能科技推動方案，也將再生能源的發電占比2%，到2025年提升至20%，今年1月電業法修正，正式通過2025非核家園目標，2025所有核能發電設備將停止運作，乾淨能源將取代核能，充分表現台灣追求環境永續的決心。1060223
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